ORION NanoFab

Fabriquez des nanostructures à moins de 10 nm avec vitesse et précision. Avec ORION NanoFab, commutez en douceur entre les faisceaux de gallium, de néon et d’hélium :

• Utilisez le faisceau au néon pour usiner des nanostructures à grande vitesse et obtenez une productivité élevée.
• Utilisez le faisceau d’hélium pour créer des structures fragiles en-deçà de 10 nm.
• Utilisez le FIB au gallium optionnel pour l’enlèvement de matière massive.

Avec ORION NanoFab, vous bénéficiez du seul système au monde qui couvre la gamme complète des applications de micro-usinage à la nanofabrication en utilisant des faisceaux d’ions de gallium, de néon et d’hélium intégrés dans un instrument unique.

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